特气柜是一种专为供应特种气体而设计的设备，广泛应用于半导体、光电子、太阳能、医药等行业。特种气体通常具有易燃、易爆、有毒、腐蚀性等特性，因此特气柜的设计需要满足高标准的安全性和稳定性要求。
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特气柜是一种专为储存和处理特种气体而设计的高端设备，广泛应用于半导体制造、LED制造、化学实验、工业生产等领域。它具备自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断等功能，确保气体的安全使用和储存。
| PN2入口压力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| GN2入口压力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| CDA入口压力 | 4-10bar，1/4卡套接口 |
| VENT | 1/2VCR接口 |
| 工艺气体出口 | 两路1/4 MALE VCR接口 |
| 特气柜柜体换气量 | SiH4-1200次/小时，其余300次/小时 |
| 电源 | 220V（半自动） |
| 防爆玻璃观察窗 | 标配 |
| 按瓶数分类 | 单瓶柜(架)/二瓶柜(架) |
| 按操作方式分类 | 手动、半自动 |
| 特气柜尺寸 | 800mm长——540mm宽——1800mm高（可根据客户要求定制） |
| 控制柜尺寸 | 800mm长——230mm宽——320mm高 |
1、气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。
2、气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测。根据实际需要可安装称重、加热等装置。
3、气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。
4、完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HOL等泄漏报警)报警信号被触发时，自动切断。
5、内部管路采用BA/EP级316L洁净管路，VCR5件套，弯头，三通，隔膜阀。
6、内部零件品牌有美国Swagelok，APTECH，PARKER,; 韩国 TK，UNI-LOK ;日本FJK，KITZ。
7、交货期短，常用配件备有大量库存。
8、完善的售前、售后服务，赢得客户认可。
可以为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备配套，应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。
我们建有300平米千级洁净间，并且通过了ISO9001和ISO14001质量体系认证。我们追求精益求精，用品质赢得客户信任。
对供应商的所有原材料严格执行验收
生产过程中，每完成一道工序均进行严格的质量监测
遵循出厂检验报告，逐项监测，确保交付设备稳定运行
