半导体废气处理设备

吸附式废气处理设备参数

优势特点

吸附式废气处理设备具有多种优势：它能够有效去除多种有害气体，包括挥发性有机化合物（VOCs）、硫化氢、氨气等，适用于化工、制药、印刷等行业。其次，设备操作简单，维护成本低，且占地面积小，适合空间受限的场合。此外，通过选择合适的吸附材料和设计合理的吸附床结构，可以实现对特定污染物的高效去除。

1、处理特气效率完美

2、运营成本低，无废水

3、易维护&更换吸附桶方便

4、操作稳定，可PLC/Touch Panel自动控制

5、配置应急或备份吸附桶，无缝切换

6、主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED

7、主要应用工艺:IMP/Etch/MOCVD/厂务等

8、吸附剂容量:100L

水洗式废气处理设备参数

优势特点

水洗式废气处理设备具有结构简单、操作方便、投资成本低等优点。它能够适应各种规模的半导体废气处理需求，特别适用于处理大风量、低浓度的废气

1、使用耐腐蚀材料，整体防腐蚀设计

2、维护方便，操作稳定，PLC/Touch Panel自动控制运营成本低

3、主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED

4、主要应用工艺:Etch/厂务等

5、处理容量:600LPM

6、设备处理气体种类:NH3.CI2.HC.HBr.SO2.NO2等溶于水的气体

电热水洗式废气处理设备参数

优势特点

电热水洗式废气处理设备的优势在于其能够处理多种类型的废气，特别是那些含有水溶性污染物的废气。电加热功能使得设备在处理低温或寒冷环境下的废气时更加高效。

1、采用筒式加热棒，高加热效率及均匀热分布，温度850℃

2、操作简便，PLC/Touch Panel自动控制整体防腐设计

3、可选配湿式静电除尘模块

4、运行成本低

5、广泛应用于Semi、FPD、Solar、LED行业的各种工艺

6、处理容量:600SLM-1600SLM

等离子水洗式废气处理设备参数

优势特点

等离子水洗式废气处理设备具有多项优点：首先，它能够处理多种难以降解的有害气体，适用范围广；其次，设备运行稳定，净化效率高，能够满足严格的环保要求；再者，该设备结合了等离子体的高能量特性和水洗的物理吸收作用，实现了高效的废气净化。

1、低功率，高性能

2、出色的PFC气体处理效率

3、通过配置静电除尘系统，达到超过99%的副产物颗粒处理效率

4、等离子火炬使用寿命长

5、出色的防腐蚀设计

6、自动模式，使用简便

7、主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED

8、主要应用工艺:Etch/CVD等