流化床气相沉积设备FB-CVD

流化床气相沉积反应器FB-CVD

反应器内的粉体材料在载气的带动下形成流化态,再进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。

设备简述

FB-CVD的优势1、流化床反应器的传热和传质系数高,比传统的固定床反应器和移动床反应器高1个数量级以上。

2、流化床反应器反应区温度均匀,所以对于强热效反应热扩散和热补充都有着明显的优势。

3、因反应区的温度控制均匀,相比于固定床反应器,流化床反应器在控温反应的温度精度一致性上

4、流化床反应器的单位产能大,因为能效和接触充分，单位床层的生产能力远远大于传统的固定床有着不可替代的优势。

5、因为反应区质点均处于流动态，易于物料的加注和卸出，对于能耗和生产效率都有明显的提升反应器和移动床反应器。

6、设备采用自动化控制更加接近于商业化设备，并明显提高性能稳定性。

7、设备采用一体化设计,满足防爆需求。