BSGS气体供应设备

产品简介

BSGS气柜，全称为大宗特气柜（Bulk Specialty Gas Supply System），是一个用于实现电子特殊气体的持续大流量不间断安全供应的系统。这个系统特别适用于半导体、TFT、Sun Solar、LED等工厂的特气供应，例如SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl等气体。

BSGS气柜主要由压力容器、气体进出口阀门、压力传感器、压力调节阀和控制系统等组成。其中，压力容器是气柜的核心部件，用于储存气体并承受气体压力。气体进出口阀门用于控制气体的进出，压力传感器用于监测气体的压力变化，压力调节阀用于调节气体的压力，而控制系统则用于实现对气柜的自动控制。

BSGS气柜具有多种安全功能，如自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断等。其内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局、调压阀J-T效应加热器等，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续大流量供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

此外，BSGS气柜还配备了触摸屏操作界面，具有远程通讯、自动抽真空、自动保压、紧急切断、报警设置等多种功能。用户可以根据需要选择全自动、半自动或手动操作模式。

总的来说，BSGS气柜是一个高效、安全、可靠的电子特殊气体供应系统，为半导体等行业的生产提供了重要的支持。

BSGS设备参数

优势特点

1、可设定的5级密码权限

2、自动吹扫，自动切换

3、手动吹扫及操作阀门

4、操作及报警历史纪录

5、供气和报警参数设置

6、设备运行状态输出

7、紧急切断开关EMO

8、高温自动喷淋系统

9、钢瓶吹扫阀箱