阀门箱VMB

阀门箱VMB


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设 备 概 况

Use & Feature

经过多年的积累,武汉凯芯通半导体技术有限公司可以为客户提供高纯/特气供应系统、实验室/研究院所供气系统、大型气体监测控制系统(GMS/GDS)、气体管道工程、尾气处理整体设计、安装调试等一体式的工程服务。从选型咨询、产品供应、技术支持、工程安装、用户培训、客户服务等,提供整套优质成熟的气体解决方案。

VMB.jpg

 

VMB-Valve Manifold Box  阀组箱(用于危险性气体)。

可以根据实际需求将气体分路,同时供应多台设备用气,实现一分N路的装置。设计时可以加调压阀,二次减压让压力更稳定。

 

内部管路采用BA/EP级316L洁净管路,VCR5件套,弯头,三通,隔膜阀。

内部零件品牌有美国Swagelok, APTECH,PARKER,; 韩国 TK, UNI-LOK ;日本FJK, KITZ

 

特气柜(Gas Cabinet),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气瓶架(Rack)、阀门箱(VMB),阀门盘(VMP)。
主要应用于:半导体,太阳能电池,微电子等需要超纯洁净气体的行业。
主用用于为PECVD,MOCVD等设备提供洁净,安全的气体。
有单瓶柜,双瓶柜,控制有全自动,半自动,手动型。

应 用 范 围

Application industry

品质保障  追求卓越

Pursuit Of Excellence

我们建有300平米千级洁净间,并且通过了ISO9001和ISO14001质量体系认证。我们追求精益求精,用品质赢得客户信任。

  • 追求品质
  • 原材料品质检验

    对供应商的所有原材料严格执行验收

  • 追求品质
  • 生产检验

    生产过程中,每完成一道工序均进行严格的质量监测

  • 追求品质
  • 出厂校验

    遵循出厂检验报告,逐项监测,确保交付设备稳定运行

项目案例

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