阀门盘VMP

以为客户提供高纯/特气供应系统、实验室/研究院所供气系统、大型气体监测控制系统（GMS/GDS)、气体管道工程、尾气处理整体设计、安装调试等一体式的工程服务。

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设备概况

Use & Feature

经过多年的积累，武汉凯芯通半导体技术有限公司可以为客户提供高纯/特气供应系统、实验室/研究院所供气系统、大型气体监测控制系统（GMS/GDS)、气体管道工程、尾气处理整体设计、安装调试等一体式的工程服务。从选型咨询、产品供应、技术支持、工程安装、用户培训、客户服务等，提供整套优质成熟的气体解决方案。

特气柜（Gas Cabinet），气体流量控制箱（BSGS），气瓶架(Rack)、阀门箱（VMB），阀门盘（VMP），气体混合系统（GAS BOX）。

主要应用于：半导体，太阳能电池，微电子等需要高纯气体的行业，用于为PECVD，MOCVD等设备提供洁净，安全的气体。

有：单瓶柜，双瓶柜两种。

控制有全自动型，半自动型和手动型三种。

内部管路采用BA/EP级316L洁净管路，VCR5件套，弯头，三通，隔膜阀。

内部零件品牌有美国Swagelok, APTECH，PARKER,；韩国 TK, UNI-LOK ；日本FJK, KITZ。