洁净管道

 超高洁净管道分级：

EP 超洁净管和管接件

EP级管材
·通过电解抛光，表面最大粗糙度小于0.3～0.8um。
产品采用高质量的316L无缝和焊接不锈钢管。
·产品采用60°C的纯水清洗，并用经过加热和过滤的氮气吹扫净化，管道两端帽封。每根管子都单独用双层防静电袋包装。

BA光亮退火热处理（BA）

BA级管材
表面最大粗糙度小于3～8um
·产品使用未经过电解抛光处理的高质量316L或者304L无缝和焊接不锈钢管。通过化学溶剂洗涤清洁，氮气吹扫，两端帽封，并用单层防静电袋包装。

AP级管材

AP级管材：酸洗钝化，车铣表面
表面最大粗糙度小于20～50um
·通过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度，但可以去除残存的颗粒，降低能量水平，但不减少介层数量。
管道两端帽封。

提供的管材尺寸范围和壁厚    

1/8"：外径3.18mm，   壁厚0.7mm
1/4"：外径6.35mm，   壁厚0.89mm
3/8"：外径9.53mm，   壁厚0.89mm
1/2"：外径12.7mm，   壁厚1.24 mm
3/4"：外径19.1mm，   壁厚1.65 mm
1.0"：外径25.4mm，    壁厚1.65 mm

适用范围

（1）EP级别管道适用于高纯度气体（5N＆6N以上）；

         毒性气体（PH3，AsH3,SiH2CL2）；

         腐蚀性（HCL，NH3）；

         易燃易爆（SiH4）;

（2）BA级别管道适用于一般性气体（N2，O2，H2，Ar，CDA）。

（3）AP级管道适用于压缩空气，或者用于双套管的外管。