石墨烯制备系统

石墨烯制备系统


石墨烯(Graphene)自2004年发现以来,在短短数年间已经成为凝聚态物理、化学、材料科学等领域研究中倍受瞩目的“明星材料”。化学气相沉积(CVD)是目前制备石墨烯的最有效、也是最具研究价值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化学气相沉积系统并非易事。

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设 备 概 况

Use & Feature

     石墨烯(Graphene)自2004年发现以来,在短短数年间已经成为凝聚态物理、化学、材料科学等领域研究中倍受瞩目的“明星材料”。化学气相沉积(CVD)是目前制备石墨烯的最有效、也是最具研究价值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化学气相沉积系统并非易事。     

     我司和华中科技大学经过长时间的共同合作,已经成功研发出石墨烯制备系统。该系统具有自动滑轨快速降温、单温区和多温区、多路气体混气、极限真空低等特点。目前该系统在华中科技大学应用已经超过10套,性价比高,运行稳定可靠。可以根据客户的要求进行系统定制,欢迎广大客户来电咨询:027-81706028。

 
一、石墨烯制备设备(CVD)主要特点:
1.石墨烯制备设备炉体采用上下“分-合”结构,易于取放炉管;
2.炉膛内部设计有对流栅格,炉体内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1100℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布,并且发热元件已做内嵌式固化,加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温,中温,高温的老化测试,确保产品质量稳定可靠。
8.气体流量采用电子式质量流量控制器进行精确测量和控制。
9.真空泵为双击旋片式,可以长时间连续工作,并配有油气过滤器,可以很好的净化油气,防止污染。
10.炉管真空度实时在线检测并可程序控制。
 
二、技术参数:
产品名称 石墨烯制备系统 产品型号 WHSBR-04ZR 炉膛模式 开启式 显示模式 LED 炉膛材料 进口纤维 加热元件 进口合金加热丝 极限温度 1200℃ 工作温度 ≤1150℃ 升温速率 ≤20℃(建议:10℃/min) 加热温区 单温区 温区长度 420mm 恒温区长 200mm 炉管材质 高纯石英 炉管直径 20mm--80mm 炉管长度 800mm--1400mm 密封方式 不锈钢真空法兰 气 密 性 真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa 控制模式 智能PID多段程序控温 控温精度 ±1℃ 温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设 预存曲线 可预存多条温度曲线 电流监控 有 电压监控 有 超温报警 有 过流保护 有 断偶提示 有 测温元件 K型热电偶 电气认证 CE认证 供电电源 220V 50Hz~60Hz 整机功率 4.5KW 气体通道 可连接2-6种气源 流 量 计 质子流量计 A路量程 0~100SCCM B路量程 0~200SCCM C路量程 0~500SCCM D路量程 0~500SCCM 气路压力 -0.1~0.15 MPa 系统真空  1~10Pa 泵路链接 KF25不锈钢波纹管 真 空 计 电子真空计 售后服务 12个月质保,终身保修。  
 


应 用 范 围

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我们建有300平米千级洁净间,并且通过了ISO9001和ISO14001质量体系认证。我们追求精益求精,用品质赢得客户信任。

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